微纳加工技术中的激光成像是指利用激光作为光源，通过精确控制激光与材料的相互作用，在微纳尺度（纳米至微米级）上实现图案的高精度转移、检测或直接写入的技术。它是微纳加工中关键的“图案化”环节之一，广泛应用于半导体制造、MEMS（微机电系统）、微流控芯片、生物芯片等领域。

MEMS工艺由多道独立工序组成，总时长取决于工序衔接效率和企业目标，常规周期为2-3个月；若需完整开发与验证，则需1-1.5年。

微纳加工是微流控芯片从实验室走向产业化的核心环节。当前，全球医学研究高度依赖动物实验进行药物筛选、毒理测试和疾病机制研究，但这一模式面临两大矛盾。

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems）是一种将机械结构、电子电路和传感器/执行器集成在微米至纳米尺度的技术。其核心是通过微纳加工工艺（如光刻、蚀刻、薄膜沉积等）制造微型化、高精度的功能器件。以下是MEMS元器件的分类及典型应用。

在生物医疗、环境监测、化学合成等领域，传统实验室的“烧杯+试管”模式正被一种微型化技术悄然颠覆——微流控芯片。这种在方寸之间集成复杂流体操控功能的“芯片实验室”，凭借其高效、精准和低消耗的优势，成为科学研究和产业创新的核心工具。然而，对于工程师和研发团队而言，如何快速、低成本地实现从设计到原型验证的跨越，成为技

在半导体微机电系统（MEMS）领域，石墨电极凭借其独特的导电性、热稳定性和化学惰性，成为制造高精度传感器、执行器及射频器件的关键材料。然而，MEMS器件的微型化（特征尺寸≤10μm）、复杂三维结构及高集成度需求，对石墨电极加工提出了前所未有的挑战。本文深入解析半导体MEMS石墨电极的核心工艺、技术难点及前沿创新，为学术研究与产业实